广联介绍德国EGE流量控制器工作原理

德国EGE流量控制器由传感器，接入器，主机，监控设备，人机界面和节流阀（或者节流阀组）组成。传感器收集流量等信息，通过接入器接入到主机，这个主机由可能是单片机，也可能是PC机，甚至可能是更高级的计算机。

　　EGE流量控制器是一个多孔板组合的联动装置，是目前国产较为可靠的解决动态水力平衡的元件。它由一个流量设定调节阀，即手动的可调孔板（相当于一个静态平衡元件）和二个阀瓣及弹簧、膜片组成的动态调节装置。即自动的可调孔板（相当于一个动态平衡元件）组成。

　　2.EGE流量控制器原理

　　电子式流量控制器带有结实本体，两个连接法兰，带磁铁和带刻度的不同流程范围的调节插板，密封条，带电磁触点的指针，电路系统连接器。液体或气体从固定在直立方向的设备底部向上流动,从而推动可变显示部分的调节插板的位置，并且可以通过观察管道上有可视刻度线的部分，红色刻度表示流速在某一个值上。通过这种方式可以读取循环中的瞬时流量。

　　浸入流体内部的指示调节阀门，在没有机械摩擦力的情况下可以自由移动，在内部所衬磁铁产生的磁场作用下，电子报警触点就会接触。依靠开关上有基准指示的可移动指针，触点的断开与接触由所检测液体的流速来决定，并显示在内部标签上。

　　3.EGE流量控制器作用

　　流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

德国EGE质量流量控制器的工作原理特征介绍

质量流量控制器可以用于控制各种清洁干燥气气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但对于使用腐蚀性气体和特殊气气体,需要恰当选择型号和密封材料。

用户在订货时,需要向供货厂商特殊说明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。通常质量流量控制器接触工作气体的材质为316L不锈钢、密封材质分为金属焊接，

聚四氟乙烯和普通氟橡胶。质量流量控制器采用金属焊接密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。

对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属焊接密封的MFC.

EGE质量流量控制器采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD),一个是速度传感器,一个是自动补偿气

体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时,其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感

元件的热传递量来计算的。气体流速增加,介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过质量流量控制器的二工作电流,此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,质量流量控制器采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。质量流量控制器具有体积小，数字化程度高,安装方便,测量准确等优点。

质量流量控制器可用于玻璃、太阳能、大气监测、工业制作、石油石化、煤炭冶金、制气配气、环保等各种工业企业的气体管路分配控制、烃类气体、可燃性气体、烟道气等气体的质量流量或实际I况的积流量测量和监控。广联介绍德国EGE流量控制器工作原理